Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication

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Bezeichner
MPN Springer-Verlag GmbH 47 figures, 36 tables
ISBN Springer-Verlag GmbH 9783540642138
Abmessungen / Gewicht
Hauptmerkmale
Springer-Verlag GmbH

Die Springer-Verlag GmbH ist ein deutscher Verlag, der vor allem wissenschaftliche und medizinische Fachzeitschriften publiziert. Das Unternehmen wurde 1946 von Kurt und Heinrich Springer gegründet. Heute gehört die Springer-Verlag GmbH zur Axel Springer SE.