Plasma Etching Processes for Interconnects Realization in VLSI
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| Identificadores | |
|---|---|
| ISBN | 1785480154 |
| Dimensiones / Peso | |
| Características principales | |
| Edición | 1ª Abril de 2015 |
| Editorial | ELSEVIER SCIENCE PUB.B.U. |
| Idiomas | INGLES |
| ISBN | 9781785480157 |
| Páginas | 128 |
